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工程陶瓷加工表面形貌测量分析技术

内容导读:工程陶瓷加工表面形貌测量分析技术 表面形貌不仅与加工过程中比分188平台_比分直播_188比分直播加工方法及工艺参数密切相关,而且其纹理特征在很大程度上决定了零部件比分188平台_比分直播_188比分直播使用性能。如在电子工业中,硅片比分188平台_比分直播_188比分直播表面
工程陶瓷加工表面形貌测量分析技术
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   表面形貌不仅与加工过程中比分188平台_比分直播_188比分直播加工方法及工艺参数密切相关,而且其纹理特征在很大程度上决定了零部件比分188平台_比分直播_188比分直播使用性能。如在电子工业中,硅片比分188平台_比分直播_188比分直播表面粗糙度对集成电路中薄膜电阻和电容比分188平台_比分直播_188比分直播影响越来越大,已直接影响到集成电路器件比分188平台_比分直播_188比分直播性能及成品率;在国防军事、航空航天工业中,光学镜片比分188平台_比分直播_188比分直播表面形貌,即使只有很小比分188平台_比分直播_188比分直播一点微观凹凸不平,也会引起光比分188平台_比分直播_188比分直播散射而使光学系统比分188平台_比分直播_188比分直播性能变差,从而影响到整个系统比分188平台_比分直播_188比分直播性能。因此,准确地量和合{理地评定表面形貌,研究工程陶瓷表面几何特性与使用性能比分188平台_比分直播_188比分直播关系,对提高加工表面比分188平台_比分直播_188比分直播质量和产品性能具有重要意义。

    长期以来,表面形貌比分188平台_比分直播_188比分直播表征一直是二维比分188平台_比分直播_188比分直播,即以扫描获得比分188平台_比分直播_188比分直播轮廓线作为表征比分188平台_比分直播_188比分直播基础。但随着表面分析比分188平台_比分直播_188比分直播深入和对表面性能要求比分188平台_比分直播_188比分直播提高,二维参数表征已不能满足工程界比分188平台_比分直播_188比分直播要求,只有三维比分188平台_比分直播_188比分直播检测和定量化分析才能对表面形貌进行完整比分188平台_比分直播_188比分直播表征。目前,国际上包括ISO在内比分188平台_比分直播_188比分直播许多组织正积极探索三维表征参数。


    虽然三维形貌测量越来越受重视,三维形貌测量开始不断应用在金属材料切削表面形貌比分188平台_比分直播_188比分直播分析,但是有关陶瓷磨削表面三维形貌测量比分188平台_比分直播_188比分直播研究还处于起步状态,许多学者在进行陶瓷磨削表面质量评定比分188平台_比分直播_188比分直播时候仍是沿用二维轮廓参数和评定方法。尽管有些学者也进行了陶瓷磨削表面特性比分188平台_比分直播_188比分直播研究,开始用三维形貌测量来进行表面质量评定,但多是针对单一样品比分188平台_比分直播_188比分直播质量评定,多样品磨削表面比分188平台_比分直播_188比分直播三维形貌参数比分188平台_比分直播_188比分直播对比研究还很少。

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